阿特拉斯真空泵的工作原理主要基于气体压缩和输送的概念。以下是其工作原理的详细介绍：
· 推进原理。当泵的活塞向上移动时，气体被吸入压缩室，在这里被压缩并推进到出口，从而产生负压。1
· 压缩原理。在泵的第二阶段，高功率旋转装置推动压缩室，将气体向外排出，使得泵吸附的气体密度不断增加，终达到真空的目的。
· 泵的组成。主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。转子外圆与泵腔内表面相切，转子槽内装有带弹簧的二个旋片，旋转时，靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。2
· 泵的工作过程。转子按箭头方向旋转时，与吸气口相通的空间A的容积逐渐增大，正处于吸气过程，而与排气口相通的空间C的容积逐渐缩小，正处于排气过程，居中的空间B的容积逐渐减小，正处于压缩过程。由于空间A的容积逐渐增大，气体压强降低，泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强，因此将气体吸入。当空间A与吸气口隔绝时，即转至空间B的位置，气体开始被压缩，容积逐渐缩小，后与排气口相通，当被压缩气体超过排压强时，排气阀被压缩气体推开，气体穿过油箱内的油层排至大气中。
此外，阿特拉斯真空泵还可以分为气体传输泵和气体捕集泵两种类型。气体传输泵使气体不断吸入和排出，达到抽气目的；气体捕集泵则使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小容器内的气体分子数目而达到抽气目的。