爱德华真空泵 IXH4545 是一款性能优良的半导体干式真空泵,以下是对它的具体介绍:
性能特点
高可靠性:爱德华真空泵 IXH4545 经过现场应用证明,能够按照高工作标准运行,拥有较长的使用寿命,可提高运行时间和生产率,有效降低运行成本,为企业生产提供稳定可靠的真空支持.
适应严苛制程:属于 iH 系列的 IXH4545 真空泵,为存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程等难以执行的制程提供了高性能,能满足半导体制造等行业对真空环境的严格要求.
抽速较大:可满足 FPD、太阳能、半导体和 LED 制造业中日益提高的气体流量要求,具有高峰值抽取速度,能够快速有效地抽出大量气体,提高生产效率.
技术参数
电源电压:一般为 380V.
应用领域
半导体制造:在半导体生产过程中的负载锁、输送、计量、平版印刷、PVD 制程、PVD 预清洁、RTA、剥离 / 灰化、刻蚀、植入源、HDP CVD、RTP、SACVD、MCVD、PECVD、LPCVD、ALD 等多个环节都有广泛应用.
光伏产业:可用于光伏电池片的生产等环节,例如在钙钛矿光伏设备联合实验室中,爱德华真空泵是不可或缺的设备之一.
维护保养
定期保养:为确保真空泵的性能和寿命,需要定期对其进行全面保养,包括更换润滑油、检查密封件、清洁过滤器等。