莱宝(Leybold)作为全球知名的真空技术解决方案提供商,其生产的干式斡旋真空泵在业界具有地位。这类泵采用干式运行机制,无需使用工作液,特别适合对洁净度要求严格的真空应用环境。以下是对莱宝干式斡旋真空泵的简要概述:

技术:莱宝干式斡旋真空泵的设计通常基于罗茨(Roots)或螺杆(Screw)等干式泵技术。罗茨泵依靠一对同步反向旋转的转子在泵腔内形成周期性的体积变化,实现气体的压缩与排出;螺杆泵则依赖两根相互啮合的螺旋状转子在泵壳内旋转,通过转子与泵壳之间的精密间隙实现气体的连续输送。这两种技术均以高效、无油的方式实现真空抽取。

应用领域:莱宝干式斡旋真空泵广泛应用于半导体制造、平板显示器、太阳能电池、科研设备、真空镀膜、制药和化工等行业。它们在这些领域的关键工艺中扮演重要角色,如晶圆加工中的刻蚀和沉积、平板显示面板的溅射镀膜、实验室分析仪器的真空系统构建等。

性能特点:

高洁净度:干式设计避免了油蒸汽污染,确保了被抽空间及工艺过程的极高洁净度,符合严苛的行业标准。

稳定高效:先进的转子设计、精密的制造工艺以及优化的内部流道布局,使得莱宝干式斡旋真空泵具有高抽速、低能耗、快速预抽和稳定的极限真空等特点。

耐用可靠:选用高品质材料制造,加之精心的热管理设计和内置保护机制,确保泵在长期运行中保持较低的故障率和长寿命。

智能化控制:现代莱宝干式斡旋真空泵往往配备先进的控制系统,支持远程监控、故障诊断、预防性维护提醒等功能,提升设备的整体运行效率和用户使用体验。

环保节能:由于无需更换和处理工作液,莱宝干式斡旋真空泵在运行和维护过程中产生的废弃物较少,符合现代工业对环保和可持续发展的要求。同时,其高效的能源利用有助于降低用户的运营成本。

 

北京帕托真空技术有限公司

 

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