爱德华 E2M275 是英国 Edwards 爱德华公司生产的一款双级油封旋转叶片真空泵,具有以下特点和应用:
特点
高极限真空和高抽速:能够快速有效地抽取气体,达到较高的真空度,满足多种对真空环境要求较高的工艺需求。
低运行噪音:运行时产生的噪音相对较低,通常在 65dB 左右,为操作人员提供了较为安静的工作环境。
良好的水蒸汽处理能力:可以处理一定量的水蒸汽,防止蒸汽在泵内凝结,减少对泵的损害,延长泵的使用寿命。
结构紧凑:设计紧凑,体积相对较小,重量较轻,便于安装和移动,适用于各种不同的工作场所。
可靠的润滑系统:具备先进的油压回路,即使在高气体负荷下也能提供良好的润滑,确保泵的稳定运行。
技术参数
泵轴位置:卧式。
电压:380V。
功率:7.5kW。
流量:255m3/h。
输送介质:油泵。
应用领域
半导体设备制造:在半导体芯片制造过程中,如光刻、刻蚀、薄膜沉积等工艺,需要高真空环境,爱德华 E2M275 真空泵可提供稳定的真空支持,确保工艺的顺利进行。
真空冶金加工:用于金属材料的真空熔炼、真空退火、真空镀膜等工艺,可有效去除金属中的杂质和气体,提高金属材料的质量和性能。
制药行业:在制药领域,如药品冷冻干燥、真空蒸馏、真空包装等环节,需要保持一定的真空度,该真空泵能够满足这些工艺的要求,保证药品的质量和稳定性。
化工行业:在化工生产中的真空干燥、真空蒸馏、真空过滤等过程中发挥作用,有助于提高生产效率和产品质量。
科研实验:在各类科研实验室中,如物理、化学、材料科学等领域的实验,需要创造高真空或低真空环境,爱德华 E2M275 真空泵可作为实验设备的配套设备,为实验提供所需的真空条件。