双极旋片式真空泵是一种常见的真空泵类型,具有以下特点和应用领域:

  • 特点:抽气效率高、极限真空高、使用寿命长;抽除水蒸气能力强;振动小、噪声低;外型美观精制;泵体采用新材料、新工艺;内置自动防返油止回阀;方便,多档的气镇阀控制;结构简单、使用方便、易于维修。

  • 应用领域:

    • 真空镀膜:在真空镀膜过程中,需要将镀膜材料蒸发并沉积在基底上,双极旋片式真空泵可以提供高真空环境,确保镀膜质量。

    • 照明:用于制造灯泡、日光灯等照明产品,保证灯泡内部的真空度,提高灯泡的亮度和寿命。

    • 制冷:在制冷系统中,如冰箱、空调等,用于排除制冷系统中的空气和水分,提高制冷效率。

    • 溅射:在溅射镀膜过程中,需要将靶材溅射到基底上,双极旋片式真空泵可以提供高真空环境,确保溅射质量。

    • 安装:用于安装和调试各种真空设备,如真空干燥箱、真空包装机等。

    • 实验室:在实验室中,用于各种真空实验和研究,如真空蒸馏、真空干燥等。

    • 真空干燥:用于干燥各种物料,如食品、药品、化工产品等,去除物料中的水分和溶剂。

    • 冷冻干燥:用于冷冻干燥各种生物制品、药品等,保持其生物活性和稳定性。

    • 光伏产业:在光伏产业中,用于制造太阳能电池,保证电池的性能和寿命。

    • 分析仪器:用于各种分析仪器,如质谱仪、色谱仪等,提供高真空环境,确保分析结果的准确性。

    • 检查设备:用于各种检查设备,如 X 射线探伤仪、超声波探伤仪等,提供高真空环境,确保检查结果的准确性。

    • 热处理冶金:在热处理和冶金过程中,用于排除金属材料中的气体和杂质,提高材料的性能和质量。

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    • 等离子设备:用于等离子体处理设备,如等离子体刻蚀机、等离子体沉积机等,提供高真空环境,确保等离子体处理效果。

    • 激光应用:在激光应用中,如激光切割、激光焊接等,用于排除激光加工过程中的气体和杂质,提高加工质量。

    • 半导体制造设备:在半导体制造过程中,用于制造芯片、晶圆等,保证半导体器件的性能和质量。

    • 电气真空灭弧:用于电气真空灭弧设备,如真空断路器、真空接触器等,保证电气设备的安全运行。

    • 电子显微镜辅助泵:用于电子显微镜等设备,提供高真空环境,确保电子显微镜的分辨率和成像质量。


需要注意的是,双极旋片式真空泵不适用于抽除含氧过高、有爆炸性、对金属有腐蚀性和对泵油会发生化学反应及含有大量颗粒尘埃的气体。在使用过程中,应根据具体的应用需求和工艺要求选择合适的真空泵类型和规格,并严格按照操作规程进行操作和维护。